報導記者／涂志豪

台北報導

SEMI（國際半導體產業協會）公布北美半導體設備出貨報告，2020年10月份設備製造商出貨金額成長達26.406億美元，創下歷年同期新高紀錄。業界指出，晶圓代工廠及IDM廠產能滿載，7奈米及更先進邏輯製程供不應求，DRAM及NAND Flash推進至新一代製程，看好半導體產業積極擴張趨勢會延續到2021年。
根據SEMI統計，今年10月北美半導體設備製造商出貨金額達26.406億美元，較9月的27.433億美元減少3.7％，與去年同期的20.808億美元相較成長26.9％，創下設備出貨金額的歷年同期新高紀錄。
SEMI全球行銷長暨台灣區總裁曹世綸表示，繼9月份北美半導體設備製造商出貨金額創下新高後，半導體設備出貨在10月份接續表現強勁。以晶圓代工廠及IDM廠為主的邏輯製程來看，5奈米及3奈米等製程微縮是帶動龐大資本支出的重要關鍵，而極紫外光（EUV）曝光機產能已成為兵家必爭之地。包括台積電及三星已擴大採購EUV曝光機，英特爾也開始建置支援EUV的7奈米生產線。設備業者預期，英特爾、台積電、三星等三大廠的投資擴產，不會因新冠肺炎疫情或美中貿易戰而放緩，明年資本支出將續創新高。
記憶體部分，DRAM的1z奈米及次世代1a奈米製程微縮持續進行，三星已成功採用EUV量產，SK海力士預期明年採用EUV製程，美光亦開始評估導入EUV，均將推升DRAM產業資本支出增加。
SEMI預估明年全球半導體廠資本支出將改寫新高，市場持續看好資本支出概念股表現。法人指出，EUV光罩盒（EUV Pod）供應商家登、EUV設備模組代工及廠務工程業者帆宣、廠務工程業者漢唐及信紘科等都將受惠。再者，先進封裝及濕製程相關設備廠弘塑、蝕刻及薄膜設備代工廠京鼎等業者，今年營運明顯成長，明年可望續創新高。