產業新訊

台積電南科再生水廠 預計3月試產

新聞日期:2021/03/02

涂志豪/台北報導

全球水情吃緊,台積電去年啟動南科再生水廠建廠工程,為台灣第一座民營再生水廠,成為全球第一個導入工業再生水的先進晶圓廠。此外,台積電首創全物理性晶背研磨廢水再生技術,再生高純度工業級矽產品導入鋼鐵業,實現循環經濟。
台積電在最新一期企業社會責任電子報中指出,南科再生水廠預計3月完成主體建築後,安裝系統、啟動試產並持續調校,致力產出優於進水品質要求之再生水。此外,台積電以全物理壓濾之晶背研磨廢水再生技術取代添加化學藥劑之混凝沉降法,處理半導體封裝製程大宗廢水的晶背研磨廢水,截至1月已減省超過55公噸化學藥劑用量,同時產製品亦由原本的無機性污泥,轉化為有價的高純度工業級矽產品。台積電去年12月已成功輸出第一批矽產品,後續將應用於鋼鐵產業,做為煉鋼用脫氧劑原料,用創新實現循環經濟。
台積電去年7月晶背研磨廢水資源化系統於先進封測三廠正式啟動,截至今年1月共回收逾15,000公噸晶背研磨廢水,成功產製30公噸工業級矽產品。同時,截至今年1月,晶背研磨廢水資源化計畫已為台積電增加約12,750公噸製程回收水量。

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