產業新訊

台積電 加速埃時代製程布局

新聞日期:2025/10/14 新聞來源:工商時報

報導記者/張珈睿

台北報導
 台積電加速邁進「埃時代」先進製程布局,台中Fab 25廠預計於2025年底動工,瞄準A14(Angstrom)製程。據悉,台積電近期針對內部員工展開招募,印證其持續深耕台灣的決心。半導體業者分析,A14製程將在寶山Fab 20率先導入,台中廠則規劃為四座主力生產基地。
 至於外傳台積電2奈米代工價格漲幅驚人,IC設計業者指出,以目前最大客戶訂單來看,相較3奈米價格成長約1~2成,A16製程則有望突破3萬美元。
 台積電於2025年技術論壇(TSMC Technology Symposium)上正式揭曉A14技術細節,該節點命名意指「14埃(Angstrom)」、相當於1.4奈米等級,標誌著半導體正式邁入「埃時代」。相較現行2奈米製程,A14在效能與功耗上均有顯著躍進。
 據悉,台中Fab 25廠已開始「招兵買馬」。廠區於8月底取得三張建照並啟動動工,廠務業者推估,最快將於2028年下半年投產,與台積電既定製程節點路線圖(Roadmap)相符。
 設備供應鏈指出,台積電2027年對EUV機台需求將增至30台以上,推測即為台中廠區量產做準備。初步估計,新竹與台中兩地A14月產能合計可達11萬~12萬片,市場需求持續強勁。
 值得注意的是,A14仍不採用高數值孔徑(High-NA EUV)微影技術,而是延用成熟的0.33 NA EUV,並搭配更複雜的多重曝光工藝。業界分析,台積電此舉主要出於成本控制與技術成熟度考量。
 2奈米製程的光罩層數與3奈米相近,而進入A14節點後,層數預估將再增加2~3層,對光阻劑材料穩定性與良率控制的要求更高。

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